工作原理：
臭氧氧化法脱硝主要是利用臭氧的强氧化性，将不可溶的低价态氮氧化物氧化为可溶的高价态氮氧化物，然后在洗涤塔内将氮氧化物吸收，达到脱除的目的。我公司在臭氧同时脱硫脱硝过程中 NO的氧化机理进行了研究，对臭氧在烟道的投放、布气方式、气相混合方式，温度控制影响、粉尘影响等做了全面的模拟实验，总结并构建出O3与NOx之间详细的化学反应机理，该机理比较复杂。在实际试验中，可根据低温条件下臭氧与 NO的关键反应进行研究。
低温条件下，O3与 NO之间的关键氧化反应如下：
NO+O3→NO2+O2
NO2+O3→NO3+O2
NO3+NO2→N2O5
NO+O+M→NO2+M
NO2+O→NO3
脱硝吸收主要反应原理如下：
NO+NO2+H2O→2H++2NO2-
2NO2+H2O→2H++NO2-+NO3-
N2O5+H2O→2H++2NO3-
NO3-+NO→NO2-+NO2
2H++CO32-→H2O+CO2
H++OH-→H2O
与气相中的其他化学物质如 CO，SOx等相比，NOx可以很快地被臭氧氧化，这就使得NOx的臭氧氧化具有很高的选择性。因为气相中的 NOx被转化成溶于水溶液的离子化合物，这就使得氧化反应更加完全，从而不可逆地脱除NOx，而不产生二次污染。经过氧化反应，加入的臭氧被反应所消耗，过量的臭氧可以在喷淋塔中分解。除了 NOx之外，一些重金属，如汞及其他重金属污染物也同时被臭氧所氧化。烟气中高浓度的粉尘或固体颗粒物不会影响到NOx的脱除效率。
臭氧发生系统：
臭氧发生器的核心采用了先进的介质阻挡双间隙放电技术，原料气流经过绝缘介质与高压电极之间以及绝缘介质层和臭氧发生器罐体接地极之间的狭小间隙，两个环状间隙之间的高压电场双面放电，将通过的氧气转换为臭氧，臭氧产生效率高。工业上一般采用电晕放电法制取，其原理如图所示：
臭氧发生原理图
臭氧发生器最重要的部分是臭氧放电管，设备采用高质量的耐臭氧腐蚀的316L不锈钢材料,PTFE (聚四氟乙烯）制造，提高了系统的长期可靠运行。放电管数量在设计时留有10%的余量，可抵消不可预见放电管污染带来的效率降低。臭氧发生器安装的形式为水平安装,可以直接将臭氧发生器放在基础上,方便安装和检修。臭氧发生器出厂前已将管道、阀门、仪表和电缆安装好，并且全套系统在工厂完成全部技术指标测试。臭氧发生器设计运行方式为24小时连续运转。
